天天快看：華海清科12英寸超精密晶圓減薄機(jī)Versatile-GP300量產(chǎn)機(jī)臺(tái)出機(jī)

2023-05-17 12:49:59來(lái)源：上海證券報(bào)·中國(guó)證券網(wǎng)

日前，華海清科股份有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“華海清科”）全新一代12英寸超精密晶圓減薄機(jī)Versatile-GP300量產(chǎn)機(jī)臺(tái)

【資料圖】

日前，華海清科股份有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“華海清科”）全新一代12英寸超精密晶圓減薄機(jī)Versatile-GP300量產(chǎn)機(jī)臺(tái)出機(jī)發(fā)往集成電路龍頭企業(yè)，標(biāo)志著公司自主研發(fā)的國(guó)產(chǎn)減薄設(shè)備批量進(jìn)入大生產(chǎn)線。

華海清科Versatile-GP300是業(yè)內(nèi)首次實(shí)現(xiàn)12英寸晶圓超精密磨削和CMP全局平坦化的有機(jī)整合集成設(shè)備，自主研發(fā)的超精密晶圓磨削系統(tǒng)穩(wěn)定實(shí)現(xiàn)12英寸晶圓片內(nèi)磨削TTV<1um，達(dá)到了國(guó)內(nèi)領(lǐng)先和國(guó)際先進(jìn)水平。華海清科創(chuàng)新開(kāi)發(fā)的cmp多區(qū)壓力智能控制系統(tǒng)，突破傳統(tǒng)減薄機(jī)的精度限制，實(shí)現(xiàn)了減薄工藝全過(guò)程的穩(wěn)定可控。

當(dāng)前，Versatile-GP300機(jī)臺(tái)性能獲得客戶(hù)廣泛認(rèn)可，現(xiàn)已收獲包括先進(jìn)存儲(chǔ)、Chiplet封裝等技術(shù)領(lǐng)域在內(nèi)的多個(gè)訂單，近期將陸續(xù)出機(jī)。伴隨市場(chǎng)需求與技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)，Versatile-GP300應(yīng)用前景廣闊。華海清科堅(jiān)持面向世界科技前沿，以自主創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)持續(xù)發(fā)展，將繼續(xù)為集成電路、先進(jìn)封裝等領(lǐng)域客戶(hù)提供更多優(yōu)質(zhì)裝備與服務(wù)。

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